一种半导体老化测试架体.pdfVIP

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2023-04-18 发布于北京
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本申请涉及一种半导体老化测试架体，其包括第一安装架，第一安装架用于竖直地组设于柜体内，并将所述柜体分隔成用于容置老化测试板的第一温区和用于容置测试核心板的第二温区；所述第一安装架上自上而下设有若干窗口以及若干水平布置的直通板，所述直通板一端用于对接测试核心板，另一端穿过所述窗口并用于对接老化测试板；在相邻的两个直通板之间、且于所述第一安装架侧壁上开设有进气口和出气口，相邻的两个直通板所形成的空间内设有第一加热器。本申请可以解决相关技术中在进行高温测试时，老化区的高温会窜到业务区，影响业务区的操作

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215812912 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202122054490.1 (22)申请日 2021.08.27 (66)本国优先权数