一种ALD料车覆层设备.pdfVIP

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2023-04-18 发布于四川
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本实用新型公开了一种ALD料车覆层设备，包括设备主体，设备主体的正面设置有操作台，设备主体的底端设置有轮毂，设备主体的顶端设置有盖板，盖板的顶端设置有提手，设备主体的一侧设置有连接件，连接件的顶端设置有覆层测厚仪，覆层测厚仪的顶端设置有连接孔，连接件的底端设置有探头，连接件的底部设置有覆层室，设备主体的背面设置有挡板，设备主体的内部设置有加热仓，加热仓的一侧设置有加热管道，加热管道的外侧设置有调节阀，调节阀的一侧设置有输送室，输送室的内部设置有压力表；该一种ALD料车覆层设备，通过设置的轮毂、显

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215828862 U (45)授权公告日 2022.02.15 (21)申请号 202120576211.5 (22)申请日 2021.03.22 (73)专利权人布格提尔（天津）科技发展有限公