一种曝光设备的光源能量检测电路系统.pdfVIP

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2023-04-18 发布于北京
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一种曝光设备的光源能量检测电路系统.pdf

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本实用新型公开了一种曝光设备的光源能量检测电路系统，属于曝光电路技术领域。该曝光设备的光源能量检测电路系统包括：电源模块、能量采集模块、数据处理模块和上位机。通过能量采集模块中的硅光电二极管把采集到的光信号转换为微弱的电流信号，经过采样电阻后转为相应的电压值，之后经过运算放大器将电压放大，通过公式I＝V/R得到电流值，根据光电二极管的光灵敏度参数K，通过公式P＝I/K得出对应的光功率值；该曝光设备的光源能量检测电路系统硬件构成简单，只需要将硅光电二极管处于曝光光源的光路正下方，使其完全接收到光路

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215813731 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202121866942.X (22)申请日 2021.08.09 (73)专利权人无锡影速半导体科技有限公司