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本实用新型公开了半导体芯片测试用弹簧探针,涉及半导体检测技术领域。本实用新型包括针轴、针管和弹簧,弹簧安装在针管内表面,弹簧上表面安装有绝缘底板,绝缘底板上表面安装有连接杆。本实用新型通过安装套筒下表面安装的弹性连接板,配合卡片,在需要测试时,针轴移动,与多个弹性连接板弹性挤压接触,形成稳定的第一接触面,同时,卡片受到挤压,与针管的内壁弹性挤压接触,形成稳定的第二接触面,同时,来自针轴的电信号依次通过第一接触面和第二接触面传递至针管,另外,安装套筒与滑块的配合能够确保针轴与针管的均匀接触,提高了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215812942 U
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202121964643.X
(22)申请日 2021.08.20
(73)专利权人 山东芯恒光科技有限公司
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