一种MEMS硅基雾化芯.pdfVIP

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2023-04-18 发布于四川
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本实用新型公开了一种MEMS硅基雾化芯，其包括第一衬底和第二衬底，所述第一衬底上设置有若干雾化孔，所述雾化孔贯穿所述第一衬底，所述第一衬底的一侧设置有横向微流道储液舱，若干所述雾化孔均与所述横向微流道储液舱相连通，所述第一衬底的另一侧设置有金属电极，所述金属电极上连接有电阻丝；所述第二衬底连接在所述第一衬底上，所述第二衬底上设置与若干通孔，所述通孔贯穿所述第二衬底的上下表面，所述通孔连通所述横向微流道储液舱，所述通孔与所述雾化孔错位布置。本实用新型可以解决陶瓷雾化芯多孔孔径不一致，导致加热不均匀

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215775526 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202122114864.4 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2021