什么是传感技术.pdf

3.1传感技术概述 一、传感器的定义 传感器是一种物理装置或生物器官，能够探测、感受外界的信号、物理条 件(如光、热、湿度)或化学组成(如烟雾),并将探知的信息传递给其他装置 或器官。 国家标准GB7665-87对传感器下的定义是：“能感受规定的被测量并按照一 定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。传 感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将检测感受到的信息，按一 定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、 存储、显示、记录和控制等要求。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。 二、传感器的分类 可以用不同的观点对传感器进行分类：它们的转换原理(传感器工作的基本 物理或化学效应);它们的用途；它们的输出信号类型以及制作它们的材料和工 艺等。 根据传感器工作原理，可分为物理传感器和化学传感器二大类 ： 传感器工作原理的分类 物理传感器应用的是物理效应，诸如压电效应，磁致伸缩现象，离化、极化、 热电、光电、磁电等效应。被测信号量的微小变化都将转换成电信号。 化学传感器包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的传感器， 被测信号量的微小变化也将转换成电信号。 常见传感器的应用领域和工作原理列于下。 1.按照其用途，传感器可分类为： 1)压力敏传感器 2)位置传感器 3)液面传感器 4)能耗传感器 5)速度传感器 6)加速度传感器 7)射线辐射传感器 8)热敏传感器 2.按照其原理，传感器可分类为： 1)振动传感器 2)湿敏传感器 3)磁敏传感器 4)气敏传感器 5)真空度传感器 6)生物传感器 3以其输出信号为标准可将传感器分为： 模拟传感器——将被测量的非电学量转换成模拟电信号。 数字传感器——将被测量的非电学量转换成数字输出信号(包括直接和间接 转换)。 开关传感器——当一个被测量的信号达到某个特定的阈值时，传感器相应地 输出一个设定的低电平或高电平信号。 在外界因素的作用下，所有材料都会作出相应的、具有特征性的反应。它们 中的那些对外界作用最敏感的材料，即那些具有功能特性的材料，被用来制作传 感器的敏感元件。从所应用的材料观点出发可将传感器分成下列几类： (1)按照其所用材料的类别分 1)金属 2)聚合物 3)陶瓷 4)混合物 (2)按材料的物理性质分 1)导体 2)绝缘体 3)半导体 4)磁性材料 (3)按材料的晶体结构分 1)单晶 2)多晶 3)非晶材料 现代传感器制造业的进展取决于用于传感器技术的新材料和敏感元件的开 发强度。传感器开发的基本趋势是和半导体以及介质材料的应用密切关联的。 按照其制造工艺，可以将传感器区分为： 1)集成传感器 2)薄膜传感器 3)厚膜传感器 4)陶瓷传感器 集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还 将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。 薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的，相应敏感材料的薄膜形成 的。使用混合工艺时，同样可将部分电路制造在此基板上。 厚膜传感器是利用相应材料的浆料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是 A1203制成的，然后进行热处理，使厚膜成形。 陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生产。 完成适当的预备性操作之后，已成形的元件在高温中进行烧结。厚膜和陶瓷 传感器这二种工艺之间有许多共同特性，在某些方面，可以认为厚膜工艺是陶瓷 工艺的一种变型。 每种工艺技术都有自己的优点和不足。由于研究、开发和生产所需的资本投 入较低，以及传感器参数的高稳定性等原因，采用陶瓷和厚膜传感器比较合理。 电阻式传感器 电阻式传感器是将被测量，如位移、形变、力、加速度、湿度、温度等这些 物理量转换式成电阻值这样的一种器件。主要有电阻应变式、压阻式、热电阻、 热敏、气敏、湿敏等电阻式传感器件。 能够实现力--电转换的传感器有多种，常见的有电阻应变式、电磁力式和电 容式等。电磁力式主要用于电子天平，电容式用于部分电子吊秤，而绝大多数衡 器产品所用的还是电阻应变式称重传感器。电阻应变式称重传感器结构较简单， 准确度高，适用面广，且能够在相对比较差的环境下使用。因此电阻应变式称重 传感器在衡器中得到了广泛地运用。 电阻应变式传感