一种基于六轴六足位移台的主次镜调节装置.pdfVIP

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2023-04-18 发布于北京
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一种基于六轴六足位移台的主次镜调节装置.pdf

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本实用新型公开了一种基于六轴六足位移台的主次镜调节装置，包括用于调节主镜和次镜相对位置的第二调节机构；第二调节机构包括干涉仪、六轴六足位移台、倾斜俯仰调节架I、倾斜俯仰调节架II和平面参考镜，干涉仪位于主镜组件前侧，主镜组件固定于倾斜俯仰调节架I上，在主镜组件前侧安装次镜支架；六轴六足位移台的移动端与装有次镜的镜座连接，镜座通过六轴六足位移台移动，移动后镜座与次镜支架固连；平面参考镜位于主镜组件的后侧，平面参考镜固定于倾斜俯仰调节架II上。采用本实用新型调节装置使主镜和次镜的相对位置固定有效增强

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215813570 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202122061098.X (22)申请日 2021.08.30 (73)专利权人茂莱(南京)仪器有限公司