一种集成化半导体晶圆片存放设备.pdfVIP

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2023-04-18 发布于四川
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一种集成化半导体晶圆片存放设备.pdf

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本实用新型公开了一种集成化半导体晶圆片存放设备，包括箱体，所述箱体左右两侧内壁靠近底部中心处共同固定连接有滑杆，所述滑杆上套设有若干个滑块，本实用新型通过固定块、第二螺纹杆、活动板、固定板、滑套、第二手柄、限位弹簧以及连接板各部件之间的相互配合使用，从而使得该集成化半导体晶圆片存放设备，具备高度调节功能，使得该存放设备能够根据不同高度的半导体晶圆片，来对若干个固定杆伸出的高度进行调节，使得若干个固定筒和固定杆形成的高度与半导体晶圆片的高度相匹配，进而使得该存放设备达到了能够对不同高度的半导体晶圆

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215795364 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202121920729.2 (22)申请日 2021.08.17 (73)专利权人马舍科技（上海）有限公司