一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具.pdfVIP

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本实用新型提供一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具,包括装置本体;所述装置本体左侧端部设置有前后方向的镀膜翻面板,镀膜翻面板右侧端面前后均开设有上下方向的限位槽,镀膜翻面板的限位槽中间均开设有左右贯穿的安装孔,镀膜翻面板左侧端面中间设置有承载柱,镀膜翻面板的承载柱左侧端面设置有正六棱对接柱。镀膜翻面板的设置,方便与外部动力装置对接实现装置本体的转动翻面,方便夹紧承载板通过螺栓安装对夹具和基片进行承载,解决了人工翻面容易对镀膜完成面造成损伤不能在单面镀膜完成后自动翻面的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215887217 U (45)授权公告日 2022.02.22 (21)申请号 202121980801.0 (22)申请日 2021.08.23 (73)专利权人 成都金典真空设备有限责任公司

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