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- 2023-04-20 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶圆表面薄膜制备装置，涉及晶圆表面薄膜制备技术领域，具体为一种晶圆表面薄膜制备装置，包括薄膜制备固定台板，所述薄膜制备固定台板的上方固定连接有多通道气滑环，所述多通道气滑环包括气滑环外壳，所述气滑环外壳的内部转动连接有气滑环转轴。通过排气吸附顶盘、泄气管和电磁阀的配合设置，使该晶圆表面薄膜制备装置具备了避免晶圆与工装表面产生空气薄膜提高排气速度进而提高工作效率的效果，通过排气吸附底盘、排气吸附顶盘和抽真空气管的配合设置，使该晶圆表面薄膜制备装置具备了避免硬度高的夹具直接作用在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215902118 U
(45)授权公告日 2022.02.25
(21)申请号 202121238194.0
(22)申请日 2021.06.03
(73)专利权人 河南通用智能装备有限公司
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