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本实用新型涉及晶圆片技术领域,具体是一种晶圆片腐蚀清洗机构,包括防护壳体,所述防护壳体的顶端设有混合结构,且混合结构的底端设有导料管,所述混合结构和防护壳体之间通过导料管固定连接,所述防护壳体内部的顶端设有撒药结构,所述防护壳体内部的两侧设有抽气结构,所述防护壳体内部的底端固定连接有固定结构,本实用新型能够通过固定结构便于辅助清洗晶圆片,受腐蚀后的晶圆片较脆弱,在清洗的过程中易损坏,且传统固定晶圆片的方式易损坏晶圆片,因为传统的夹持方式在固定时易用力过猛导致晶圆片损坏,固定结构的工作原理是首先把
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215902324 U
(45)授权公告日 2022.02.25
(21)申请号 202121828642.2 H01L 21/67 (2006.01)
(22)申请日 2
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