1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

压电式微机械超声换能器PMUT器件以及电子系统.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约2.25万字
  • 约 31页
  • 2023-04-20 发布于四川
  • 举报

压电式微机械超声换能器PMUT器件以及电子系统.pdf

    本公开的实施例涉及压电式微机械超声换能器PMUT器件以及电子系统。一种压电式微机械超声换能器PMUT器件，其特征在于，包括：硅基底；膜元件，被配置为通过以共振频率关于平衡位置振荡来生成超声波和接收超声波；锚定部分，将膜元件固定到硅基底，以及压电元件，在膜元件上，压电元件被配置为：当电信号被施加至压电元件时，引起膜元件振荡，以及响应于膜元件的振荡生成电信号，其中，膜元件和锚定部分由单晶硅制成。利用本公开的实施例，在完成的PMUT器件中得到的膜元件的厚度非常精确，并且较少受到工艺失配的影响。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215902133 U (45)授权公告日 2022.02.25 (21)申请号 202120480887.4 (22)申请日 2021.03.05 (30)优先权数据

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >