1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

多组式旋涂镀膜装置.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约6.95千字
  • 约 8页
  • 2023-04-20 发布于四川
  • 举报

多组式旋涂镀膜装置.pdf

    本实用新型公开了一种多组式旋涂镀膜装置，包括匀胶机主机和承片平台两部分，其中承片平台包括由承片台、承片架和小齿轮组成的多组承片装置及隔离多组承片装置的挡板。本实用新型通过匀胶机电极齿轮与连接承片平台中心部分齿轮实现平台旋转，同时，齿轮又与每个承片装置上的小齿轮组合，实现每个承片台的反向自转。最终通过吸气孔固定的基片衬底，在旋涂过程中能够保持公转和反向自动，实现均匀涂膜。四个等效的承片装置可以实现一次旋涂过程中，四个衬底同时旋涂镀膜，大大提升旋涂效率，节约投入成本，提升涂膜重复率，具有很大工业上批

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215902112 U (45)授权公告日 2022.02.25 (21)申请号 202120713769.3 (22)申请日 2021.04.08 (73)专利权人 信阳师范学院 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >