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本申请公开了一种阀门组件及半导体设备，涉及半导体装备领域。一种阀门组件，应用于半导体设备，包括：阀门本体和阀板，其中：所述阀门本体用于与所述半导体设备中的工艺腔室的传料口处固定连接，且所述阀门本体包括与所述传料口连通设置的通道；所述阀板设置于所述通道中，且所述阀板可相对所述阀门本体运动用以开启或关闭所述传料口；所述阀门本体在远离所述传料口的一侧设置有通气结构，所述通气结构用于在所述通道远离所述传料口的一端形成气体屏障。一种半导体设备，包括上述阀门组件。本申请实施例提供的阀门组件及半导体设备能够解
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215891172 U
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202121879102.7 C23C 16/54 (2006.01)
(22)申请日 2
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