镭射机台自动化运行方法及系统.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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镭射机台自动化运行方法及系统.pdf

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本发明提供一种镭射机台自动化运行方法及系统，所述方法包括：(a)根据特征信息判断晶圆是否在镭射机台上完成作业，若是，则跳过镭射机台进行下一工序，若否，则执行步骤(b)；(b)在镭射机台上对晶圆进行处理，所述镭射机台生成记录信息，所述记录信息与所述晶圆在镭射机台上的作业信息相关；(c)获取所述记录信息，并根据所述记录信息生成特征信息，所述特征信息作为步骤(a)的判断依据。本发明的优点在于，根据镭射机台的本地记录信息生成特征信息，进而利用特征芯片判断晶圆是否在镭射机台上完成镭射作业，进而避免对已经完

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113903676 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202010572280.9 (22)申请日 2020.06.22 (71)申请人长鑫存储技术有限公司