一种边缘缺陷检测装置及方法.pdfVIP

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2023-04-21 发布于北京
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一种边缘缺陷检测装置及方法.pdf

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本申请是专利申请号为CN201910898266.5的专利申请的分案申请。本发明公开了一种边缘缺陷检测装置及方法，包括：载物台，用于承载待测物；光源单元，用于提供检测光束，检测光束至少照射至待测物的待测边缘上；物镜，用于收集检测光束经待测边缘反射或散射后形成的处理光束；光程调制器，位于物镜与相机之间，用于对处理光束进行光程调制；主控模块，与光程调制器连接，用于调节光程调制器的光程调制性能；相机，用于根据光程调制器出射的信号光束形成待测边缘的图像，从而对缺陷进行更好的定位和识别。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113884499 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202111145587.1 (22)申请日 2019.09.23 (62)分案原申请数据 2019108