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- 2023-04-21 发布于北京
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本实用新型涉及光伏设备领域，具体是一种投影式曝光设备，所述投影式曝光设备包括：光源；掩膜板，所述掩膜板上形成有预定图案，所述预定图案用于透过部分来自所述光源的光线；光学组件，所述光学组件用于接收并调整穿过所述掩膜板的光线，所述光源、所述掩膜板及所述光学组件沿着第一方向依次设置；载台，所述载台用于承载附着有感光胶的太阳能电池片，且能够接收所述光学组件调整后的光线。本实用新型的投影式曝光设备能够避免掩膜板损伤，且具有较好的曝光效果。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218886396 U
(45)授权公告日 2023.04.18
(21)申请号 202223328184.3
(22)申请日 2022.12.12
(73)专利权人 苏州太阳井新能源有限公司
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