原创力文档- 7
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- 2023-04-21 发布于四川
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本发明提供一种水平湿制程治具，其包括弧面形成本体以及连接于弧面形成本体的定位件，弧面形成本体具有弧面基准部。弧面基准部的侧面呈弧形状。可挠性平面基板贴服于弧面基准部的上方表面，形成弧状可挠性基板。定位件供弧状可挠性基板定位于弧面基准部，使弧状可挠性基板形成所设定的弧面，可降低因药液滞留而产生的水坑效应。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113891567 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202010633528.8
(22)申请日 2020.07.04
(71)申请人 联策科技股份有限公司
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