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一种化学机械抛光清洗液及使用方法.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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一种化学机械抛光清洗液及使用方法.pdf

    本发明公开了一种化学机械抛光清洗液及其使用方法，该清洗液包含络合剂、表面活性剂、润湿剂、pH调节剂、余量为水。本发明的化学机械抛光清洗液是一种高度浓缩的清洗液，能够通过调节稀释倍数同时满足对化学机械抛光后的晶圆片和抛光垫的清洗。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113881510 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202010634290.0 C11D 3/36 (2006.01)

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