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- 2023-04-21 发布于四川
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本发明公开了一种用于基板的线路量测系统，包括一第一光源、一第二光源、一影像捕获设备以及一图像处理装置。该第一光源提供第一颜色光束至一基板上，以显示该基板的一第一区域特征。该第二光源提供第二颜色光束至该基板上，以显示该基板的一第二区域特征。该影像捕获设备影像撷取该基板，以获得该第一区域特征与该第二区域特征。该图像处理装置连接至该影像捕获设备，分析该第一区域特征与该第二区域特征，以获得一线路信息。本发明可以有效的增加线路上若干个特征区域之间的影像对比度，借此可以提升线路量测的精准度，进而增加检测的准
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113884508 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202110293076.8 G01B 11/28 (2006.01)
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