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- 2023-04-21 发布于四川
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本发明提供了通过使低频射频部分在高功率下脉冲化而在衬底上沉积可灰化硬掩模(AHM)的方法和相关设备。使低频功率脉冲化可用于增加AHM的选择性或减小AHM的应力。接着可利用AHM将特征蚀刻至衬底的下伏层中。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113891954 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202080039821.X 大卫 ·弗伦奇
(22)申请日 2020.05
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