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压电微机械超声波换能器及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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压电微机械超声波换能器及其制作方法.pdf

    一种压电微机械超声波换能器，包括基底、阻挡结构及膜层，其中基底和阻挡结构包括相同的材料。基底包括穿透基底的空腔，阻挡结构会从基底的顶面突出且围绕空腔的边缘。膜层设置于空腔上且附着于阻挡结构。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113896165 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202010642684.0 (22)申请日 2020.07.06 (71)申请人 世界先进积体电路股份有限公司

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