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- 2023-04-21 发布于四川
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本发明提供一种能够抑制装置的大型化及成本上升且能够抑制光学谐振腔的光轴错开的激光振荡器。激光介质气体容纳于腔室中。放电电极在腔室内产生放电。具有通过放电电极产生放电的区域的光轴的光学谐振腔保持在配置于腔室内的谐振腔底座。激光振荡器设置有温度差减少结构,所述温度差减少结构减少谐振腔底座的表面中的面朝放电电极的方向的第1表面和面朝与放电电极相反一侧的方向的第2表面之间的温度差。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113889826 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202110630494.1
(22)申请日 2021.06.07
(30)优先权数据
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