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用于晶元搬运的联动式取放手臂机构及系统.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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用于晶元搬运的联动式取放手臂机构及系统.pdf

    本发明公开了一种用于晶元搬运的联动式取放手臂机构及系统，该机构包括安装件、驱动件、第一取手臂件和第二取手臂件；所述第一取手臂件包括第一本体、第一传送带和第一连接件，所述第一连接件的第一端锁紧在第一传送带上、第二端锁紧在第一本体上，使得所述第一本体能够在所述驱动件驱动所述第一传送带移动时沿搬运方向相对所述安装件错位移动；所述第二取手臂件包括第二本体、第二传送带、第二连接件和第三连接件，所述第二本体能够在所述第一本体相对所述安装件错位移动过程中沿同一方向相对所述第一本体错位移动；所述第二本体的外端部

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113894842 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202111312992.8 (22)申请日 2021.11.08 (71)申请人 苏州辰轩光电科技有限公司

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