一种基于MEMS的阳极氧化铝纳米微阵列芯片及其制备工艺和应用.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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一种基于MEMS的阳极氧化铝纳米微阵列芯片及其制备工艺和应用.pdf

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本发明提供一种基于MEMS的阳极氧化铝纳米微阵列芯片及其制备工艺和应用。本发明是通过超声化学去油脂‑电化学抛光‑初次阳极氧化‑化学蚀刻‑光刻‑再次阳极氧化‑末道处理等过程，最终获得阳极氧化铝纳米微阵列芯片。阳极氧化铝纳米微阵列芯片可负载核酸和/或蛋白质和/或小分子化合物后作为高通量生物芯片。负载核酸和/或蛋白质和/或小分子化合物前，将阳极氧化铝芯片置于过氧化氢溶液中加热至沸腾处理1h以提高阳极氧化铝表面羟基含量，然后进行氨基化修饰，使表面修饰带有活性的氨基基团。本发明的阳极氧化铝纳米微阵列芯片用

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113881941 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202111350194.4 C25D 11/10 (2006.01)