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- 2023-04-21 发布于四川
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本实用新型公开了一种半导体芯片生产用等离子刻蚀机，包括底座、马达、吸尘器和开口启闭控制机构，所述底座下端面的两侧对称固定有垫块，所述气泵的一侧通过连接管道与吹风通道相连接，所述支架的两侧内壁上对称固定有固定架，且固定架之间转动连接有滚筒，所述开口启闭控制机构固定在支架的顶部，且开口启闭控制机构设置在开口的一侧，所述等离子刻蚀机主体固定在底座上端面的另一侧，且等离子刻蚀机主体的内底部设置有传送带装置。该半导体芯片生产用等离子刻蚀机，将半导体芯片放置在滚筒上后，滚筒顺时针旋转，以此引导半导体芯片向右
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215911394 U
(45)授权公告日 2022.02.25
(21)申请号 202122164851.8
(22)申请日 2021.09.08
(73)专利权人 江苏应材微机电科技有限公司
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