一种基于聚焦离子束加工的电子显微三维重构地质样品制样方法.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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一种基于聚焦离子束加工的电子显微三维重构地质样品制样方法.pdf

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本发明公开了一种基于聚焦离子束加工的电子显微三维重构地质样品制样方法，涉及地质行业检测技术领域，所述方法包括以下步骤：S1、将地质目标样品采用机械切割加工出平整的光滑表面；S2、对感兴趣区域沉积保护层，且沉积保护层的厚度为2‑4μm；S3、提取感兴趣区域样品，并将提取出来的样品焊接到透射电子显微镜用的载网上；S4、用聚焦离子束将提取的样品加工为针状，直到加工至电子束可穿透的厚度，然后获得可在透射电子显微镜下进行三维重构数据采集的样品。该发明提供一种能够实现360°全角度电子显微三维重构数据采集的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113899765 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202111141302.7 G01N 1/32 (2006.01) (22)申请日 20