一种钒/钇共掺杂DLC涂层及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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一种钒/钇共掺杂DLC涂层及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种钒/钇共掺杂DLC涂层及其制备方法，所述制备方法包括：先在基体上沉积Cr或Ti的底层，然后在底层的表面沉积CrC或TiC的过渡层，然后以钒和钇作为掺杂金属源，在过渡层的表面沉积钒钇共掺杂的DLC涂层。本发明的DLC涂层中同时掺杂了钒元素和钇元素，可大大降低DLC涂层的内应力，从而显著增强DLC涂层对基体的附着力，使膜基结合力高达70N以上。同时，钒的掺入可使涂层在摩擦过程中形成具有润滑性的化学转移膜，从而提高涂层的耐磨性能。钇的掺入可形成致密的非柱状晶纳米结构细颗粒，降低涂层的表

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113913735 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111041736.X C23C 28/00 (2006.01) (22)申请日 2