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晶圆承载台自动清洁监控系统、监控方法及可读存储介质.pdfVIP

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  • 2023-04-22 发布于北京
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晶圆承载台自动清洁监控系统、监控方法及可读存储介质.pdf

    本发明公开了一种晶圆承载台自动清洁监控系统，包括：晶圆曝光数据获取单元，数据共享单元，数据分析单元和执行单元；晶圆曝光数据获取单元用以获取机台内底层曝光文件，对曝光文件进行解析，提取平坦度数据，并传输至数据共享单元；所述数据共享单元，用以存储平坦度数据，并向数据分析单元提供数据共享接口；数据分析单元，用以分析平坦度数据，将平坦度数据转换形成趋势图，判断趋势图中的数据是否超过预设阈值，如数据超过所述预设阈值，发送预警指令至所述执行单元；执行单元，根据所述数据分析单元发送的预警指令向机台发送清洁晶圆

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113946613 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202111149897.0 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司

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