微机电系统结构及其应用.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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微机电系统结构及其应用.pdf

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公开了微机电系统(MEMS)器件以及操作该器件的方法。该器件包括：衬底平台；以及具有多个曲折臂的电极板，电极板经由多个曲折臂附接到衬底平台，电极板设置在处于静止位置的平面上。器件包括基本上垂直地设置在电极板上的尖锐构件。在各种实现方式中，电极板和衬底平台是共面的。在各种实现方式中，电极板被配置为离开静止位置在垂直于平面的方向上移动。器件还包括对向电极。操作器件的方法包括经由电源跨电极和对向电极供应直流(DC)，以跨器件的电极和对向电极产生静电场。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113950350 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202080042578.7 (74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限