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防护膜组件、其制造方法及曝光方法.pdfVIP

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  • 2023-04-22 发布于四川
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防护膜组件、其制造方法及曝光方法.pdf

    本发明提供远紫外光光刻用的防护膜组件、其制造方法以及曝光方法。本发明涉及的防护膜组件具备：第1框体，该第1框体配置有防护膜；第2框体，该第2框体具有厚部和第2面，并将上述防护膜和上述第1框体从外侧包围，所述厚部包含第1面，所述第1面承接与上述第1框体的配置有上述防护膜的面相反侧的面，所述第2面与上述第1面连接并承接上述第1框体的侧面；贯通孔，该贯通孔配置在上述第2框体的上述厚部；以及过滤器，该过滤器配置在与配置有上述防护膜的上述第1框体的面交叉的上述第2框体的外侧的侧面，并覆盖上述贯通孔。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113917783 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111214914.4 (51)Int.Cl.

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