一种用于研磨抛光机精确加压气路控制系统.pdfVIP

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  • 2023-04-22 发布于四川
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一种用于研磨抛光机精确加压气路控制系统.pdf

本发明公开了一种用于研磨抛光机精确加压气路控制系统,包括总进气模块,整个上盘组件升降动作模块和整个上盘组件加压动作模块;加压方式是小气缸先抵消掉整个上盘组件的重量,再对工件进行施加压力,因所控制的压力小,压力偏差小,工件的去除量更加精准,整个气路系统还包括了气枪、防落挂钩、研磨液出液分流等功能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113910098 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111214935.6 (22)申请日 2021.10.19 (71)申请人 上海汉虹精密机械有限公司

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