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本发明提供了一种纳米栅的制备方法,还提供了通过该方法制备的纳米栅和应用。本发明的方法可以简化纳米尺度的栅的制备,精确控制栅长尺寸,并实现纳米栅器件的制备,进而提升电子器件的性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113948379 A
(43)申请公布日 2022.01.18
(21)申请号 202010691398.3
(22)申请日 2020.07.17
(71)申请人 中国科学院物理研究所
地址 1001
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