一种PCB表面薄层品质分析方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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一种PCB表面薄层品质分析方法.pdf

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本发明公开了一种PCB表面薄层品质分析方法，包括以下步骤：使用剪刀，自动取样机将所需要测量区域从PCB板中取出；喷金处理；测试样品固定在金属样品台上，然后将样品台安装在测试平台的斜面上；用电子束沉积第一层保护层；完成电子束沉积之后，使用聚焦离子束沉积第二层保护层；调整测量平台倾斜角度，以保证样品表面能垂直于聚焦离子束的方向进行切割；完成切割后再调整样品倾斜角，即可进行观测。本发明具备由双束扫描电镜对样品进行加工及测试，可以避免制样过程中接触化学溶液、机械应力及杂质污染等影响，通过对双束扫描电镜的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113933328 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111490992.7 (22)申请日 2021.12.08 (66)本国优先权数据 2020114