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- 2023-04-22 发布于四川
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本发明公开了一种基板容器系统，包括容器主体、过滤组件以及后盖，容器主体包括顶面、与顶面相对的底面以及连接顶面与底面的背板，容器主体具有前开口及后开口，前开口位于顶面与底面之间，用以供基板通过，后开口位于背板，与前开口相对，背板具有第一高度，后开口具有小于第一高度的第二高度，过滤组件覆盖于后开口，后盖用以与容器主体建立密封接合，后盖与容器主体间形成导气通道沿第一高度的方向延伸，后盖与过滤组件共同定义了缓冲室，导气通道具有出口，连接于缓冲室。通过非整面方式提供净化气体，让内部空间在高度方向上具有不同
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113937041 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111096102.4
(22)申请日 2021.09.17
(30)优先权数据
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