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一种沟棒及硅片舟及硅片舟制作方法.pdfVIP

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  • 2023-04-22 发布于四川
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一种沟棒及硅片舟及硅片舟制作方法.pdf

    本发明公开了一种沟棒，所述的沟棒包括沟棒基体和垂直设置在沟棒基体上的若干接触体，相邻接触体与接触体之间形成沟槽，所述的沟棒基体上均布有若干下沉孔，所述的接触体插设在下沉孔内部，所述的接触体与下沉孔之间形成微小空隙，所述的微小空隙内部注有硅溶胶，所述的接触体与下沉孔内部的硅溶胶经精烧后粘结为一体。还公开了一种硅片舟及其制作方法。由此形成的沟棒支撑面上没有刀痕，实现了沟棒高精度、低粗糙度（降低崩边率）要求，提升了沟棒的生产效率，降低了沟棒的制造成本。该硅片舟，采用点接触或短线接触，减少硅片接触面积，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113937040 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111055406.6 (22)申请日 2021.09.09 (71)申请人 杭州大和热磁电子有限公司

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