一种全玻璃微流控芯片及加工方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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一种全玻璃微流控芯片及加工方法.pdf

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本技术方案公开了一种全玻璃微流控芯片，包括：采用石英玻璃加工的且叠放在一起，并相互密封的透明玻璃顶盖和玻璃底板；透明玻璃顶盖开设鞘液入口、细胞入口、出液孔，玻璃底板具有双凹透镜形状的玻璃微透镜和多个集成光纤通道，还带有对样品进行三维流体聚焦的微流体通道。全玻璃微流控芯片的微结构采用皮秒激光刻蚀装置刻蚀，采用CO2激光回流后处理方法去除毛刺，采用非高温键合实现玻璃之间的良好密封封接。一种用于细胞计数、分类检测的全玻璃微流控芯片系统包括所述全玻璃微流控芯片与激光二极管、光电倍增管、光电二极管、泵、数

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113941377 A (43)申请公布日 2022.01.18 (21)申请号 202111180525.4 (22)申请日 2021.10.11 (71)申请人北京理工大学地址