一种高选择性掺钪氮化铝湿法刻蚀工艺方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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一种高选择性掺钪氮化铝湿法刻蚀工艺方法.pdf

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本发明涉及一种高选择性掺钪氮化铝湿法刻蚀工艺方法。包括（1）准备衬底晶圆，在衬底上依次沉积，种子层、掺钪氮化铝压电层、介质层，形成多层复合膜结构；（2）采用湿法工艺对介质层进行刻蚀，实现压电层的图形化掩蔽；（3）利用湿法腐蚀溶液对所述AlScN压电层进行腐蚀，获得含有钪基团的残留刻蚀表面；（4）采用湿法微蚀工艺，对刻蚀后的AlScN表面状态进行修正，获得满足要求的刻蚀形貌。本发明提供了一种湿法刻蚀AlScN的工艺方法，可有效降低现有工艺中严重侧刻蚀现象、以及含钪基团的残留问题；利用湿法刻蚀对材料

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113991009 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111116133.1 (22)申请日 2021.09.23 (71)申请人中国电子科技集团公司第五十五研