1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种MEMS加速度计及其形成方法.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约1.52万字
  • 约 18页
  • 2023-04-23 发布于四川
  • 举报

一种MEMS加速度计及其形成方法.pdf

    本发明涉及一种MEMS加速度计及其形成方法，其MEMS加速度计包括：衬底；检验质量块弹性连接于衬底上；顶部固定电极设置于检验质量块远离衬底的一侧；底部固定电极设置于检验质量块远离顶部固定电极的一侧；其中，顶部固定电极与检验质量块形成第一电容，底部固定电极与检验质量块形成第二电容，第一电容与第二电容形成差分电容。本发明技术方案中仅需一个衬底即可实现使用差分电容测量Z轴加速度，实现相关技术中至少两个衬底才能达到的等效功能，从而简化了该MEMS加速度计的结构，降低制造工艺成本；由于将顶部固定电极设置于

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113970655 A (43)申请公布日 2022.01.25 (21)申请号 202111588756.9 (22)申请日 2021.12.23 (71)申请人 杭州麦新敏微科技有限责任公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >