扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法.pdf

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本公开涉及扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法。扫描曝光装置针对由照明光学系统照明的照明区域扫描原版，并且一边与原版的扫描同步地扫描基板，一边对基板进行扫描曝光。扫描曝光装置具备：第1调整机构，在进行基板的第1区域的扫描曝光以及与第1区域部分地重复的第2区域的扫描曝光的模式下调整被照射到第1区域与第2区域的重复区域的曝光光的照度分布；第2调整机构，调整照明区域的形状；以及控制部，在执行以在重复区域的整个区域使曝光量超过目标曝光量的方式使第1调整机构动作的第1调整动作之后，执行以在重复区域使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113985702 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202110847346.5 (22)申请日 2021.07.27 (30)优先权数据 2020-1267