基于矢量偏振光的深度学习暗场共焦显微测量装置与方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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基于矢量偏振光的深度学习暗场共焦显微测量装置与方法.pdf

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本发明公开了一种基于矢量偏振光的深度学习暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括径向偏振光产生模块、旋转方向照明模块、明场超分辨共聚焦探测模块、暗场超分辨共聚焦探测模块；通过偏振转换器产生径向偏振光照明，同时利用互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号并进行双路同步收集，可同时获取亚波长级表面及亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113984771 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111121288.4 (22)申请日 2021.09.24 (71)申请人哈