一种硅片定位结构及定位方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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一种硅片定位结构及定位方法.pdf

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本发明公开了一种硅片定位结构，该结构置于冷盘表面并与冷盘固定，包括：定位部，该定位部为表面向内凹陷的贯通条状件，其凹陷贯通部分，于定位部底部形成与条状定位部延伸方向一致的腰槽，定位部本体的外壁面为自顶向下地朝远离腰槽方向延伸的倾斜延伸面；垫片层，该垫片层为，自定位部一端的端底朝向远离定位部的方向水平延伸的片状结构，垫片层伸出所述定位部的部分形成一绕设定位部该侧端面的平整放置面，其中，固定件穿过腰槽后与冷盘上的定位孔适配定位，锁紧状态下，固定件将硅片定位结构与冷盘固定，调整状态下，腰槽被所述固定件

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113964072 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111354627.3 (22)申请日 2021.11.16 (71)申请人苏州珂玛材料科技股份有限公司