一种薄膜蒸镀装置.pdfVIP

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本发明公开了一种薄膜蒸镀装置,包括真空腔体,所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置到所述本体的开口端的盖板,所述本体具有相对的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四侧壁,还包括设置到所述本体内的第一辊筒组件,所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组件;所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊和第一收卷辊;所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和第一上部蒸发源。本发明可实现薄膜的两面的镀膜工作,生产效率高,生产成本低,生产时间少,

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113981408 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111340957.7 (22)申请日 2021.11.12 (71)申请人 重庆金美新材料科技有限公司

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