原创力文档- 2
- 0
- 约1.22万字
- 约 9页
- 2023-04-23 发布于北京
- 举报
本发明属于触控传感器技术领域。一种触控传感器用ITO导电薄膜，包括基材层，还包括依次沉积于所述基材层表面的接着层、结晶过渡层、易结晶层和金属导电层；所述结晶过渡层为结晶态的第一ITO层，所述易结晶层为非结晶态的第二ITO层。本发明ITO导电薄膜韧性好，透光率高，电阻小，载流子迁移率高，导电性能好。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113990555 A
(43)申请公布日 2022.01.28
(21)申请号 202111317287.7
(22)申请日 2021.11.09
(71)申请人 惠州市天誉科技有限公司
文档评论（0）