一种具有腐蚀结构的晶圆清洗装置.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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一种具有腐蚀结构的晶圆清洗装置.pdf

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本发明公开了一种具有腐蚀结构的晶圆清洗装置，包括支撑机构，所述支撑机构上设置有用于对晶圆限位支撑的固定机构，所述固定机构上连接有用于对所述固定机构上晶圆进行腐蚀、清洗的腐蚀清洗机构，所述腐蚀清洗机构与所述固定机构、所述支撑机构连接；所述支撑机构包括箱体，所述箱体上间隔设置有腐蚀腔、清洗腔，所述箱体上端后侧设置有支撑框；所述固定机构包括对称设置的支撑盘，所述支撑盘相对外壁上设置有连接轴，所述支撑盘间前后设置有支撑柱。本发明通过固定机构对晶圆进行批量固定，然后通过腐蚀清洗机构将固定机构上的晶圆整体浸

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113990773 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111039642.9 (22)申请日 2021.09.06 (71)申请人无锡亚电智能装备有限公司