可转移的大尺寸氧化镓薄膜的制备方法.pdfVIP

下载本文档

6
0
约1.26万字
约 9页
2023-04-23 发布于四川
举报
版权申诉

可转移的大尺寸氧化镓薄膜的制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种可转移的大尺寸氧化镓薄膜的制备方法，主要解决现有技术生产成本高、难以得到大面积剥离膜的问题。其实现方案为：通过化学气相沉积在铜箔上生长石墨烯，再将去除铜箔的石墨烯转移到清洗过的蓝宝石衬底上作为插入层；将覆有石墨烯的蓝宝石放入雾化学气相淀积Mist‑CVD炉子中，在石墨烯上淀积大尺寸的氧化镓外延层；通过热释胶带从石墨烯上剥离转移该氧化镓外延层，得到氧化镓薄膜。本发明通过外延层与石墨烯之间存在的较弱的范德华力，使得外延层易被剥离并转移至目标衬底，减少了工艺步骤和成本，能在大气压强及工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113969423 A (43)申请公布日 2022.01.25 (21)申请号 202111244218.8 C23C 16/52 (2006.01) (22)申请日 2