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本发明提供一种液晶相控阵电磁波调控装置及其制造方法,其包括在诸如馈线、微带线等天线结构上添加金属薄膜器件,器件的膜厚、尺寸、形状、工艺可以根据设计要求进行调整;在玻璃基板上制作微带线层时,使用半导体镀膜工艺,制作相应的元器件,达到提升生产效率、降低成本、提升馈电网络的隔离度,降低回波损耗,提升天线效率等。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113964526 A
(43)申请公布日 2022.01.21
(21)申请号 202111490736.8
(22)申请日 2021.12.08
(71)申请人 南京迪钛飞光电科技有限公司
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