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本发明涉及一种金刚石钝化氮化镓器件多指栅互连结构及其制备方法,属于新型半导体器件热管理技术研究领域。本发明的结构设计自上而下依次包括指栅互连结构区、复合介质层、金刚石钝化层、势垒层、缓冲层、及衬底;所述栅互连结构区包括源电极、漏电极以及栅电极,结合引入的复合介质层,改进栅电极和漏电极的互连结构,实现电极的垂直交叉互连。本发明结构的制备方法是采用低温金刚石生长钝化技术以及空间拓扑结构将源电极、漏电极、栅电极各自互连,提高散热,同时降低寄生电容。本发明的金刚石钝化结构的多指栅互联结构氮化镓基器件具有
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114005804 A
(43)申请公布日 2022.02.01
(21)申请号 202111157486.6
(22)申请日 2021.09.30
(71)申请人 中国电子科技集团公司第五十五研
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