硅棒的保护结构体及硅棒的制造方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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硅棒的保护结构体及硅棒的制造方法.pdf

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本发明的保护结构体能够确认硅棒的翻倒状况并进行反应器的打开作业。保护结构体(200)包括：第一框体(201)，具有包围容纳硅棒(110)的反应器(100)的底板(101)周围的形状；及保护壁面(204)，从第一框体(201)向竖直上方延伸，形成硅棒(110)的容纳空间(210)，且保护壁面(204)具有网状结构。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114007979 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202080043636.8 (74)专利代理机构北京信诺创成知识产权代理