一种薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器.pdf

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本发明涉及一种薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器，薄膜体声波谐振器包括依次层叠设置的第二电极层、压电层、第一电极层和衬底，在衬底上进行全反射结构的制备，并在每个散热盲孔内填充导热散热材料和高阻材料，使本申请的一种薄膜体声波谐振器，在维持原本高Q值的同时，还解决传统薄膜体声波谐振器因导散热能力不足而产生的温度影响，且结构可靠性强，利于集成，且制备工艺简单。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114006599 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202111268160.0 (22)申请日 2021.10.29 (71)申请人北京航天微电科技有限公司